半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
项目流程底色
该机构坐落浙江省广州市,主要是考证挂靠高半导存储芯片的封裝软件测试,日产生口废出水量约200吨。是由于生孩子方式中实用多类化学上化剂,工业废水组成复杂的,包含高氨水浓度铜、镍等高价属并且 环氧材料树脂材料、光刻胶等生物碳影响物。机构已有工作措施没有办法无法新的产生口标准单位,亟需上升进行改造。
废水处理组成及种类
化学镍废渣
:从何而来于IC芯片引脚电镀层加工过程,内含铜、镍、锡等血本属阳离子,pH值振幅大。
生产废水处理工艺
:一般来于装封胶凝固、光刻加工过程,具有环氧漆树脂材料、异丙醇、异丙醇等有机肥料液体。
腐蚀性生产废水
:导致于晶圆刷洗和蚀刻制作工序,含有氢佛酸、氢空气氧化钠、氢空气氧化钠等。
除理工艺设计程序流程
预处置一阶段
碱酸与
:可以通过投加软件系统改善pH至6-9,禁止之后的加工产品氧化。
混泥土凝固
:添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),我们要除飘浮物和有些高价属。
内在处里时段
高端脱色
:选择Fenton化学药品(H₂O₂+Fe²⁺)葡萄糖氧化难化学降解有机会物,COD出掉率达70%这。
膜滤水
:超滤膜(UF)+反浸入(RO)組合鑫霖环保,进步骤挪作他用巨资属和可溶性高,溶于水的性有机的物。
深度的解决的阶段
阴离子交易
:也可以采取铜、镍铁离子,保证水流天价属含氧量低过0.5mg/L。
特异性炭吸附剂
:最为终极确保,彻底清除无残留轻微有机的物。
最终能够功效
经进行处理后,喷水地表水满足《电子元器件工业企业水影响物排污标准化》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,循环率提拔至60%,年均开源节流用清水生产成本约80来万。