半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
建设项目题材
该中小型商家为国内先进的半导体设备测封中小型商家,处在珠半圆区域,包括来舒适集成ic的划区和装封测评。基于本地坏保追求要严,中小型商家确定制定工业废水零直接排放过程。该项目于202五年重新启动,202五年6月开建动工,治理 总量为200吨/日,总创业约2000万块。
废污水组分及渠道
该类的划区污废水 兼备低于结构特征:
高浓硫酸密度氟化物,主耍源自晶圆切割工作后的的清洗道工序,氟阴离子浓硫酸密度多达150-200mg/L
包含的纳米级级硅粉颗粒肥料,粒度多在100-500nm中间
有机物工况较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性微量分析巨资属如铅、镉等
纯水电导率高,通畅在2000-3000μS/cm
办理技术标准流程
为进行零废气工作目标,加工过程设置侧重于顾虑生产废水几大类获取和资源量收售:
污废水 分类管理采集而来控制系统
:将含氟化工废水处理工艺与许多化工废水处理工艺分不开获得
生物乳浊液除氟
:按照有级钙盐滤渣法,匹配高效、性价比最高滤渣池
高級硫化补救
:嗅氧离子液体腐蚀化学降解难治理充分物
膜精炼操作系统
:选用DTRO碟管式反渗入,高浓4的倍数为10倍
蒸发器沉淀
:MVR厂家饱和蒸汽再解压缩蒸馏器治疗浓水
皮肤干燥设备
:将结晶体盐常温、干燥后做为重工业副新产品外售
加工处理视觉效果
系统的加载数据源呈现:
氟化物取除率>99.9%,溢水氟阳离子<1mg/L
COD总删去率>98%,冒水COD<20mg/L
水材料再利用率>95%,仅引发极富成果盐
每一年的可二手回收高高质量造纸废水处理水约10万吨
析出盐饱和度达到工业园级的标准,确保影视资源化再生回收利用
楼盘不只是保证 了焦化废水零排出,还用的资源回报创新了约80万美元/年的超额理财收益。