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该半导体技术创造产业园座落在苏北位置,总该项目投资突破200亿人民币,大这部分生产方式125英寸晶圆和先进性二极管封装物料。产业园日进行排出废发电量约5000吨,一般包括多种不同加工制作工艺 生活污水加工,加工困难大。该项目规范生活污水加工加工后以达到《电子器件重工业水危害物进行排出基准》(GB 39731-2020)很进行排出限制值,这部分中水回用率不降到60%。
工业废水部分及由来
含氟废气:主要的发源晶圆蚀刻、刷洗生产工序,氟阳离子溶液浓度独角兽高达200-500mg/L,pH值浮动大
有机肥料物工业废水:光刻、显影液、去胶等制作工艺出现,COD浓度值300-800mg/L,具有刺激性异丙醇、甲苯等有机肥料物液体
含铜焦化废水:塑料电镀、有机化学自动化机械磨光(CMP)工步生产,铜化合物氨水浓度50-150mg/L
耐酸碱化工废水:设施设备难以清理、有机废气清洗等关键点存在,pH值在2-12直接浮动
抛光焦化废水:CMP多种工序呈现,含带nm级二脱色硅科粒
净化处理方法流程步骤
采取"种类整理+分质处理+厚度净化处理"的三人组合施工工艺:
含氟化工废水加工处理线
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两极无机化学水解:先加药氯化钙调整pH至6-7,再加上入PAC和PAM水解酸化池水解
活性酶硫化铝吸附剂:保证 氟化合物溶液浓度低于5mg/L有以下
飞灰经板框压滤后受托专业技术妥善处理
巧妙污废水 净化处理线
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微钛电极预加工:铁碳微钛电极吸附大原子核有机肥料物
UASB生物滤池反映器:HRT=24h,COD洗去率>60%
MBR膜生物制品发生植物细胞培养:分为PVDF空心纤维素膜,通量15LMH
含铜废水加工方法加工线
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催化石雕文化结晶:加药NaOH调控pH至9-10,造成Cu(OH)2石雕文化结晶
正正离子交換:二级树脂材料交換切实保障铜正正离子<0.3mg/L
钛电极抛光收旧:局部焦化废水经钛电极抛光收旧轻金属铜
一体化处理整体
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调节器池:动态平衡水质量出水量,设曝气池均匀搅拌
沥青混凝土乳浊液:添加塑料斜板沉淀池剂祛除固体有害物质
嗅氧离子液体防氧化:可光降解难可光降解有机会物
反侵入系统化:脱盐率>98%,产水循环于生产加工线
工业废水治理 操作系统
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活性污泥果汁池:粉末状氧浓度从1%加快至3%
离心法脱水器:加入到PAM慢慢调理,泥饼含水分率<75%
高低温干化:区域废水干化至含水量率30%以内
最后疗效
大型项目投入使用重新运行后,基本质量指标保持稳定未达标:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阳离子<0.3mg/L、pH 6-9。化工业废水处理水水体质量可达到GB/T 19923-2005化工业纯净水标淮,化工业废水处理率65%,今年节约资源新鲜感水使用量约110万吨。污泥干化呈现量削减40%,风险垃圾处里成本费减轻35%。软件重新化数量高,高清在线监测网数据表格与低能耗部门管理实时路况2.连接网络。