半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
新项目经验
该光电器件厂家为于长半圆省市,主要制造销售89屏幕尺寸和129屏幕尺寸晶圆,日废气废水流量约2000吨。仍然制造销售工艺流程简化,废泥中富含多重难溶解充分物和天价属阴离子,过去工作方法步骤无法符合进一步要从严的废气规范。
化工废水物质及原因
化工生活污水一般原因于两个基本原则:晶圆割切化工生活污水含大批量硅粉和割切液杂质;化工机械性抛光剂化工生活污水丰富悬浊液硅和磨细顆粒;刻蚀冲洗化工生活污水含氟化物、铜阴离子等巨资属;光刻工艺流程化工生活污水则含光阻剂等充分环境破坏物。环境质量特殊性是COD高(800-1500mg/L)、氟化物有机废气浓度高(200-400mg/L)、透明桌面物多且含进样器巨资属。
除理施工工艺程序流程
利用"有机化学预解决+生化模式解决+长度解决"的组和施工工艺:
控制池匀衡生活饮用水储水量
沥青混凝土发展清除悬浮物物和电解质溶液元素
检查是否奠定法也可以办理氟化物,污泥脱水钙盐转变成氟化钙奠定
溶解过酸池增长生产废水可生物化性
碰到阳极氧化池挥发有机物影响物
渗透性炭吸附性塔参与厚度正确处理
膜分離机系统加强组织领导留水水硬度稳定的
采取含铜生活污水分次放置铝离子调换体系,回收处理有币值的材料铜。
以后使用效果
创业项目起建后运转固定,留水COD<50mg/L,氟化物氧化还原电位<5mg/L,铜铝离子氧化还原电位<0.3mg/L,多种统计指标均强于国度《自动化行业水危害物释放物标准化》(GB 39731-2020)。年可变少COD释放物约300吨,氟化物释放物约50吨,回收公司铜合金金属约2吨,控制了生活环境成效与资金成效的共利。