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半导体研磨废水怎么处理|半导体研磨废水如何处理

工程视频背景 这项目是在华北省份某家高知名度半导体设备制作厂家,重点研发854英寸和1254英寸晶圆。随着时间推移产能提高自己,抛光环节生产的废需水量从原先的200吨/日添加到350吨/日,原先解决公共设施已尚未够满足具体需求,且喷水污水水质不增强,迫切需要改建和改建电镀废水解决体统。 废水处理工艺基本成分及主要来源 该客户考虑化工废水包括来于有以下工艺程序: 耐腐蚀机诫研磨设备机(CMP)废水处理工艺:包含有二防硫化硅、防硫化铝等研磨设备机颗粒物,粒度在0.1-1μm区域 晶圆正面碾磨生活污水:所含硅粉、废金属亚铁离子(铜、铝等)及一点生物碳加剂 切成片磨细废液:主要是的成分为氧化硅科粒和激光切割油保湿乳 生产废水因素特征为:pH值跌涨大(2-11)、漂浮物浓硫酸浓度高(500-2000mg/L)、有效微量分析血本属和难降解塑料有机的物,COD一般说来在200-500mg/L空间。 治疗过程过程 过反复小试和中试,之后确保选择下面的净化处工院艺: 转换池 :设制pH一直在线监控技术和智能投加药剂系统化,将电镀废水pH稳定性高在6.5-7.5位置 混疑积累 :污泥脱水聚合表现氯化铝(PAC)和阴化合物型聚炳烯酰胺(PAM),搭配表现后进入斜板悠长岁月中池 溶气气浮 :采取个部分流入式溶气气浮,下一步骤祛除狗狗细小病毒颗粒物和固体材料 多物料净化 :主要包括石英石砂+生物炭二级进行过滤,确保安全溢水SS<10mg/L 膜外理设计 :主要包括ro反渗透性装置(UF)和ro反渗透性(RO)二级,RO浓水单单清理 污泥干化处理 :悠长岁月中和和气气浮污泥干化经板框压滤后清运外理 主要新工艺参数表:混泥土期限段段G值掌握在60-80s⁻¹,表现期限段15min;气浮此回流比30%,留住期限段20min;超滤膜通量60LMH,反构建再利用率75%。 之后感觉 软件系统程序运行安全稳定后,留水水质监测充分高达《电子元器件制造业水感染物排放物规范化标准化》(GB39731-2020)很排放物规范化允许值的要求,大部分的指标如下图所示: SS<5mg/L(剔除率>99%) COD<30mg/L(除去率>93%) 铜阳离子<0.3mg/L 留水回收率实现65%不低于 生活污水减轻药量40% compared to原工艺设备 本项目总项目投资约1200W,运转成本费用约8.5元/吨水,每季度可下降废水处理工艺摆股票放量7万吨级,回收公司土地资源共享4万吨级,国家经济盈利能力和条件盈利能力有效。

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