该晶圆加工厂为于华东省市省市,基本生孩子8寸大半导体技术晶圆,单日废气排放规定物量约800吨。鉴于生孩子历程中用海量盐酸做好晶圆蚀刻,造成 废气中氟化物含量万代高达200-300mg/L,远超发展中国家排放规定物规定(10mg/L一下)。
废水处理方法基本成分及源于
废水处理核心来源于三部门:
晶圆蚀刻道工序
:含高质量浓度氟化物(HF)、盐酸及多量血本属
耐腐蚀自动化设备抛光处理(CMP)化工废水
:含nm级硅小粒、有机化学络合剂
装置家电清洗污水
:含异丙醇、氯离子等有机肥料物
加工处理工序步骤流程
进行"化学式沉积+混疑沉积+深层活性炭过滤"三级视频净化处理系统的:
五级进行处理
:污泥脱水氯化钙和氢空气氧化钙,构成氟化钙水解,氟化物除去率达85%
2级除理
:放入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙乙烯酰胺),的还原胶体溶液态弄脏物
四级加工
:在多媒介油烟净化器器和抗逆性炭溶解,喷水氟化物渗透压稳固在8mg/L下述
重点装置例如:pH一键设定软件系统、斜管沉积池、板框压泥机(生活污水缺水)。
既定视觉效果
的项目运作五年期监测技术数据统计表明:
氟化物平均值氧浓度:7.2mg/L(最低祖国规定)
COD取除率:92%
工业废水水分含量率:≤65%
年收购氟化钙副产设备约150吨,保证影视综合回收利用回收利用